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以精度铸就工艺之巅
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Aligner AL-C系列
半导体自动化
此款是在θ轴上具有X轴和Y轴,并具有晶片位置校正的Z轴的高精度ALIGNER。
提高生产力
对应透明玻璃片及键合片
NOTH角度精度≤±0.1°
中心定位精度≤±0.2mm
定位时间≤20s
1
/
3
SPECIFICATIONS
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