VTM

VTM真空传输模块是半导体高端制造的核心枢纽，其核心功能是在真空环境下实现晶圆在EFEM（大气端）与PM（真空端）之间的高速，无污染传输。XIVI的真空传输模块搭载DD直驱真空机械手可实现高精度定位，同时为晶圆传输提供高洁净的传输环境。另外，XIVI可提供客制化方案，满足客户不同需求。