ROBOT ZTR

作为晶圆的真空传输系统中的基板搬运机器人，XIVI的真空机械手的全连杆手臂机构可实现更高的定位精度。采用全闭环控制方式，搭载真空直驱电机，拥有更高的回转精度与更快的响应时间，双向双臂的配置，可以在不扩大腔室的情况下比传统型号传输更长的距离，且面对多工位，拥有更高的工作效率。当需要在高真空环境中以经过验证的精度和可重复性传输基板时，XIVI的真空机械手实现了高定位重复性和高可靠的真空分区性能。