ROBOT LTR

直线型机械手是一款用于晶圆传输、单臂运动的洁净机械手，专为半导体制造环境设计。软件算法实现的插补轴的联动控制，可实现末端高精度平滑轨迹运动，确保晶圆的稳定、高效传输。