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SMIF

半导体自动化


特征
1699406847913470.png符合 SEMI 标准  
1699406847913470.png晶圆映射（有无、叠片、斜片）检测
1699406847913470.png晶圆突片检测
1699406847913470.pngSMIF POD 存在检测和放置检测
1699406847913470.png搬运系统切换灵活



选配
1699406847913470.pngE84
1699406847913470.png外部I/O对应
1699406847913470.png采用TCP/IP通信
1699406847913470.png6" / 8" 晶圆
1699406847913470.png可对应smart tag reader、 RF-ID Reader










SMIF
SPECIFICATIONS

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