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EFEM

半导体自动化


特征
1699406847913470.png选配2台Aligner可以达到高Throughput
1699406847913470.png取放片可选真空吸附式/边缘夹持
1699406847913470.png可兼容200/300mm 
1699406847913470.pngOHT、Stocker可对应



选配
1699406847913470.pngE84
1699406847913470.pngOCR
1699406847913470.pngIonizer  
1699406847913470.pngAutoteaching
1699406847913470.pngTeaching pendant
1699406847913470.pngChemical Filter
1699406847913470.png可对应Barcode Reader / RF-ID Reader


EFEM
SPECIFICATIONS

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