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ABXY

精密控制

ABXY-ZT4系列平台是一款具有六自由度的气浮、机械运动平台。专为后道曝光机及晶圆检测、切片、退火等要求严格的半导体工业设计而设计。

	X、Y采用气浮轴承，运行平稳
	T轴：任意微转动，用于调平
	双驱步进轴具有被动减震模块
	Z轴：快速、精准的对焦运动

ABXY

SPECIFICATIONS

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为独特需求，量身定制，确保每次都是完美匹配。

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