VAG 陶瓷系列运动平台

VAG 陶瓷系列运动平台是 XIVI持续在气浮平台的研发设计与制造的基础上，结合陶瓷材料的高刚度、低热膨胀等材料优势，加之XIVI特有的加工技术、精密结构分析与设计领域的专业优势，专门为帮助当今半导体工业设备制造业实现高精度、高产出率目标而研发的系列平台。VAG 陶瓷系列运动平台,实现了纳米级重复定位和亚微米级平面度，兼具高速与稳定性，适合半导体、光学检测及科研等高端应用。

	高精度
	零摩擦导向：采用气浮支撑，无接触、无磨损，实现平滑静音的纳米级运动。
	低热膨胀陶瓷结构：保证长时间热稳定性。
	高刚度 & 轻量化：陶瓷材料强度高、重量轻，平台动态响应快，固有频率高。