VXT
机电一体化
VXT系列平台由直线交叉滚子轴承、直线电机和一个非接触式线性编码器组成。这个系列平台采用了中心驱动的无铁心运动，它能产生零齿槽效应，以确保平稳地控制速度并进一步提高运行效率。该系列的平台高速性能优良和准确。
| VXT I-L SERIES 特征 | |
 | 高分辨率（1nm)，高重复定位精度(75nm)和高定位精度(250nm) |
| 具有纳米级性能并且行程较长 |
| 运动误差小、稳定精度高 |
| 具有抗蠕变特性 |
| 高动态特性 |
| VXT I-XY SERIES 特征 | |
| 高分辨率(1nm)，高重复定位精度(75nm)和高定位精度(250nm) |
| 具有高度集成化的XY直线电机纳米平台 |
| 具有纳米级性能并且行程较长 |
| 运动误差小，稳定精度高 |
| 具有抗蠕变特性 |
| 直接驱动技术的高动态性能 |
