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VMZT

机电一体化

VMZT系列平台是一款具有四自由度的机械运动平台。专为后道曝光机及晶圆检测相关的要求严格的半导体工业设计而设计。

	特征
	X、Y采用高刚性，高精度导轨，微米级运行平面度与直线度
	ZT轴一体化轻薄设计，支持360°旋转
	Z轴可以保持原样

VMZT

SPECIFICATIONS

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为独特需求，量身定制，确保每次都是完美匹配。

为独特需求量身定制
确保每次都是完美匹配