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VAG

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VAG-1
VAG-1

VAG系列运动平台是XiviTech持续多年在材料、特有加工技术、精密结构分析与设计领域不断投入后,专门为帮助当今半导体工业设备制造业实现高精度、高产出率目标而研发的系列平台。高自主知识产权及精英的研发团队能确保我们的企业在迎接未来挑战时,始终保持技术能力。VAG系列运动平台,非常能满足在电子及半导体加工、检测行业极具挑战的严苛要求。

详细介绍
  • VAG的优点:
    1、扫描速度快
    2、整定时间小
    3、线性编码器反馈
    4、全气浮及真空预载


    Travel

    Scan Axis

    350 mm , 500 mm,

    Step Axis

    350 mm , 500 mm

    Drive System

    Linear Brushless Motor                  

    Resolution

    0.25 nm

    Accuracy

    ±300 nm

    Repeatability(choose linear driver

    ±100 nm (±50 nm)

    XYZ Position Stability(Air On)

    20 nm

    Granite Bass Thickness

    250 mm

    Rated Payload(Maintaining Dynamic Specifications)

    5 kg

    Maximum Payload

    25 kg

    Maximum Velocity with Rated Payload

    Scan & Step Axis 

    1000 mm/s

    Peak Acceleration with Rated Payload

    Scan & Step Axis

    2 G (20 m/s2)

    RMS Acceleration with Rated Load

    Scan & Step Axis

    1 G (10 m/s2)

    Stiffness,First Natural Frequency with Rated Payload

    >100 Hz

    Pitch

    2 arc sec

    Roll

    2 arc sec

    Yaw

    2 arc sec

    XY straightness

    1 um

    XY Flatness

    1.2 um

    XY Orthogonality

    <2 arc sec

    Velocity ripple( sampled at 400mm/s)

    0.1 %

    MTBF

    40,000 hours



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