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VAL

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VAL II
VAL II

VAL系列运动平台是XiviTech一款面向高精度、高端应用市场的气浮直线平台。凭借研发团队在材料、设计、分析方面的专业技术对平台整体进行不断设计优化,采用非接触的气浮轴承与磁预载的结构,实现无摩擦的平滑运动,使VAL系列运动平台达到亚微米至纳米级的定位精度及重复定位精度。

详细介绍
  • VAL II的优点:
    1、磁预载气浮轴承
    2、高速度稳定性
    3、行程可达1m
    4、直线编码器反馈
    5、低噪音无摩擦

    6、高动态特性

    VALII

    Basic Model

    VALII100

    VALII200

    VALII300

    VALII400

    VALII500

    VALII600

    VALII800

    VALII1000

    Total Travel

    100 mm

    200 mm

    300 mm

    400 mm

    500 mm

    600 mm

    800 mm

    1000mm

    Motor Type

    Brushless Linear Sevomotor

    Feedback

    Noncontact Linear Encoder or Laser Interferometer

    Encoder

    Noncontact Linear Encoder

    0.001 µm - 0.1 µm

    Laser Interferometer

    0.39 nm - 79 nm

    Maximum Velocity (no-load)

    2 m/s

    Peak Accelerationno-load

    20 m/s2

    Maximum Load Capacity

    50 kg

    Accuracy

    Noncontact Linear Encoder(with error compensation,temperature stabilized within 0.2°C

    ±0.3 µm

    ±0.4 µm

    ±0.6 µm

    ±1 µm

    Repeatability

    ±0.2 µm

    ±0.3 µm

    ±0.4 µm

    Straightness & Flatness

    ±0.25 µm

    ±0.4 µm

    ±0.75 µm

    ±1.5 µm

    ±2.0 µm

    ±3.0 µm

    ±4.0 µm

    ±5.0 µm

    Pitch/Yaw

    1 arc sec

    2 arc sec

    3 arc sec

    4 arc sec

    5 arc sec

    6 arc sec

    8 arc sec

    10 arc sec

    Velocity ripple

    0.1% @ 500 mm/s

    Minimum incremental motion

    10 nm

    Nominal Stage Mass

    30 kg

    35 kg

    40 kg

    45 kg

    50 kg

    55 kg

    65 kg

    75 kg

    Moving Mass

    8.5 kg

    Operating Pressure

    0.5 MPa ± 0.05 MPa

    Air Consumption

    0.8 SCFM

    Moving Mass

    8.5 kg

    Material

    Aluminum

    MTBF

    20,000 hrs


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