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VALI
VALI

VAL系列运动平台是XiviTech一款面向高精度、高端应用市场的气浮直线平台。凭借研发团队在材料、设计、分析方面的专业技术对平台整体进行不断设计优化,采用非接触的气浮轴承与磁预载的结构,实现无摩擦的平滑运动,使VAL系列运动平台达到亚微米至纳米级的定位精度及重复定位精度。

详细介绍
  • VAL I 的优点:
    专为小型、高性能检测应用设计
    分辨率可达0.1nm的直线编码器反馈
    闭环分辨率可达0.5nm
    全空气预载气浮导轨
    低噪音无摩擦

    高动态特性

    Basic Model

    VALI025

    VALI050

    VALI100

    VALI150

    Total Travel

    25 mm          

    50 mm        

    100 mm       

    150 mm        

    Motor Type

    Brushless Linear Sevomotor

    Feedback

    Noncontact Linear Encoder

    0.5 nm - 10 nm

    Maximum Speed

    300 mm/s

    Maximum Accelerationno-load

    10 m/s2

    Maximum Load

    15 kg

    Accuracy(with error compensation, temperature stabilized within 0.2°C

     ±0.2 µm

    ±0.2 µm

    ±0.3 µm

    ±0.5 µm

    Repeatability

    ±50 nm

    Straightness &Flatness

    ±0.25 µm

    ±0.4 µm

    Pitch/Yaw

    ±0.25 arc sec

    ±0.5 arc sec

    ±1.0 arc sec

    ±1.25 arc sec

    Minimum incremental motion Capacity

    -Standard 10nm      -Optional 1nm

    Nominal Stage Mass

    5 kg           

    6 kg           

    7 kg              

    13 kg              

    Moving Mass

    2 kg

    4.5 kg

    Operating Pressure

    0.5 MPa ± 0.05 MPa

    Air Consumption

    0.8 SCFM

    Material

    Aluminum

    MTBF

    20,000 hrs

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