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VML165
VML165

无铁芯直线电机直驱 高质量长寿命机械导轨 侧面密封 低成本高性能 多规格多行程选择 应用:工业或科研,如计量、平板显示器制造等。

详细介绍
  • VML165

    无铁芯直线电机直驱

    高质量长寿命机械导轨

    侧面密封

    低成本高性能

    多规格多行程选择

    应用:工业或科研,如计量、平板显示器制造等。


    Mechanical Specifications

     165-100

     165-150

     165-200

     165-250

    Travel

    100 mm

    150 mm

    200 mm

    250 mm

    Calibrated Accuracy

    ±1 µm

    ±1 µm

    ±1.5 µm

    ±1.5 µm

    Resolution

     1 nm – 10 nm

      1 nm – 10 nm

      1 nm – 10 nm

      1 nm – 10 nm

    Repeatability (Bi-Directional)

     ±0.5 µm

    ±0.5 µm

     ±0.5 µm

    ±0.5 µm

    Straightness & Flatness

     ±2.5 µm

     ±3 µm

     ±4.5 µm

     ±5 µm

    Pitchc & Yaw

    6 arc sec

    7 arc sec

    9 arc sec

    10 arc sec

    Maximum Speed

    2 m/s

    Maximum Acceleration

    30 m/s2

    Maximum Force (Continuous)

    70 N

    Load Capacity 

    Horizontal

    45 kg

    Side

    45 kg

    Moving Mass

    2.5 kg

    Stage Mass

    10 kg

    11 kg

    12 kg

    13 kg

    Material

    Aluminum

    MTBF

     20,000 hrs




    Mechanical Specifications

     165-300

     165-400

     165-500

    165-600

    Travel

    300 mm

    400 mm

    500 mm

    600 mm

    Calibrated Accuracy

    ±1.5 µm

    ±1.5 µm

    ±2 µm

    ±2 µm

    Resolution

     1 nm – 10 nm

    1 nm – 10 nm

     1 nm – 10 nm

     1 nm – 10 nm

    Repeatability (Bi-Directional)

     ±0.5 µm

     ±0.5 µm

     ±0.5 µm

    ±0.5 µm

    Straightness & Flatness

     ±6 µm

     ±8 µm

     ±9 µm

     ±10 µm

    Pitch & Yaw

    12 arc sec

    15 arc sec

    17arc sec

    19 arc sec

    Maximum Speed

    2 m/s

    Maximum Acceleration

    30 m/s2

    Maximum Force (Continuous)

    70 N

    Load Capacity 

    Horizontal

    45 kg

    Side

    45 kg

    Moving Mass

    2.5 kg

    Stage Mass

    14 kg

    16 kg

    18 kg

    20 kg

    Material

    Aluminum

    MTBF(Mean Time Between Failure)

     20,000 hrs

     

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