首页

关于星微

了解星微

星微荣誉

产品方案

精密控制

晶圆传输

产品定制

应用领域

技术支持

技术支持

售后服务

资料下载

新闻资讯

加入我们

联系我们

关于星微

了解星微

星微荣誉

产品方案

精密控制

晶圆传输

产品定制

应用领域

技术支持

技术支持

售后服务

资料下载

新闻资讯

加入我们

联系我们

SORTER

晶圆传输

采用直驱伺服电机的洁净机械手、Aligner，实现高Thoughtput。Loadpor可在Frame的前后和两侧增加各种Unit。可以和OHT和Stocker直接对接。

	兼容200mm/300mm Wafer
	多种取放片方式可选
	可读取Wafer上、下面ID
	OHT、Stocker可对应
	可选配边缘检测功能

SORTER

SPECIFICATIONS

SPECIFICATIONS

为独特需求，量身定制，确保每次都是完美匹配。

为独特需求，量身定制。