ROBOT VTR

大气晶圆传输机械手（下文简称“机械手”）适用于大气洁净室环境，由本体、手臂以及片叉（选配）构成，通过负压吸附晶圆，通过各关节的循环运动实现晶圆的传输功能。机械手的运动分为升降运动（Z轴）、旋转运动（T轴）、手臂伸缩运动（R轴）。