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以精度铸就工艺之巅
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ROBOT STR
晶圆传输
五轴晶圆传输机械手,具有独立可控的2个旋转手臂。其优势在于无需横移轴即可实现三个
并排Loadpor的取放片工作。工作速度快、精度高。
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