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EFEM

晶圆传输

	通过选配2台Aligner可以达到高Throughput
	真空吸附式取放片和边缘夹持式取放片（可选）
	可兼容200/300mm （可选）
	OHT、Stocker可对应

EFEM

SPECIFICATIONS

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为独特需求，量身定制，确保每次都是完美匹配。

为独特需求，量身定制。