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以精度铸就工艺之巅
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VAL1
精密控制
专为小型
、
高性能检测应用设计
分辨率可达0
. 1
nm
的直线编码器反馈
闭环分辨率可达0
.
5
nm
全空气预载气浮导轨
低噪音无摩擦
高动态特性
1
/
3
SPECIFICATIONS
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